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發(fā)布時間:2020-11-08 00:15  
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PE鍍膜后四周發(fā)白淺析,近期經(jīng)常接到客戶咨詢,石墨舟鍍膜后發(fā)現(xiàn)膜后的片子四周發(fā)白或四周發(fā)紅。并且如果是新舟直接用就沒有這個問題,用了循環(huán)后,清洗后就會發(fā)現(xiàn)這個問題。
這次就問題發(fā)生的原因做一個說明,并且給大家一些解決方法。
一般來說我們機臺出現(xiàn)問題基本上為三類,偏紅,正常藍,偏白(對應(yīng)表中的淡藍色,無明確的白色膜厚,此時的白色部分膜厚接近90左右)
硅片在PECVD工序之前是常規(guī)的灰白色,通過一定的化學(xué)反應(yīng)在片子表面生成一層膜。片子工藝結(jié)束后,就會得到我們需要的工藝顏色。

石墨在常溫下具有很好的化學(xué)穩(wěn)定性,不受任何強酸,強堿及有機溶液的侵蝕。因此,石墨制品即使長期使用損耗也很少,只要擦拭干凈還如新的一樣。石墨制品在電氣工業(yè)中廣泛用來作電極、電刷、碳棒、碳管整流器的正極、石墨墊圈、電話零件、電視機顯像管的涂層等等。其中以石墨電極應(yīng)用較為廣泛,在冶煉各 種合金鋼、鐵合金時,使用石墨電極,這時強大的電流通過電極導(dǎo)入電爐的熔煉區(qū),產(chǎn)生電弧,使電能轉(zhuǎn)化為熱能,溫度升高 到2000度左右,從而達到熔煉或反應(yīng)的目的。

石墨的一個主要用途是生產(chǎn)耐火材料,包括耐火磚、坩堝、連續(xù)鑄造粉、鑄模芯、鑄模、洗滌劑和耐高溫材料。
1. 防范強腐蝕火焰直噴石墨制品的側(cè)面和底砣;
2. 運用適量的助燃劑、添加劑將減少石墨制品的壽命;
3. 拔除石墨制品表里壁熔渣和粘焦時候應(yīng)輕敲防范損壞石墨制品;
4. 石墨制品嚴防濕潤,存放時候必須放在干燥處或木架上;
5. 運用前需要在干燥設(shè)備或爐旁熱烘烤,溫度逐漸升到500攝氏度;