潔凈空調配電、照明燈具配電和其他機器設備的配電應單獨設置并單

潔凈空調配電、照明燈具配電和其他機器設備的配電應單獨設置并單獨控制。網絡線、墻壁設備電源運用固有線路，配電箱、電源插座、照明燈具電源開關和網絡面板均為暗裝。無塵車間應按照生產制造要求提供充足的照明，在設計和施工前都要進行復核。無塵車間內每個單獨區(qū)域照明燈電源開關都應單獨控制。照明燈具安裝應便于清潔。室內潔凈照明燈具安裝完畢之后，應該及時清掃。

無塵車間設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的潔凈度級別一般都

內廊式：無塵車間設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，甚至和無塵車間同級。兩端式：潔凈區(qū)設在一邊，另一邊設準潔凈和輔助用房。核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候對潔凈區(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中會發(fā)的各類廢氣，因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

空調機房靠近要求送風量大的無塵車間,力求風管的線路

空調機房靠近要求送風量大的無塵車間，力求風管的線路。但從防止噪聲和振動來說又要求把無塵車間與機房隔開。這兩方面都予以考慮。隔開方式有：構造分離方式。有以下幾種：（1）沉降縫隔開式。使沉降縫在無塵車間與機房之間通過，起分割作用。（2）夾壁墻隔開式。如果機房緊靠無塵車間，不是公用一面墻隔墻，而是各自有各自的隔墻，而兩面隔墻之間留有一定寬度的夾縫。（3）輔助室隔開式。在無塵車間與機房之間設輔助室，起緩沖作用。