蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的原理及性能,你了解多少?

今天至成鍍膜機(jī)真空小編要為大家講的是蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的原理和性能，前一段時(shí)間還有一個(gè)新人問我這方面問題，今天我就把我的知道的闡述出來(lái)，和大家一起成長(zhǎng)和提升。

在真空中制備膜層，包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。雖然化學(xué)汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段，但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。

通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜。這種方法早由M.法拉第于1857年提出，現(xiàn)代已成為常用鍍膜技術(shù)之一。蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質(zhì)和不易熱分解的化合物膜。用作真空蒸發(fā)鍍的裝置稱為蒸發(fā)鍍膜機(jī)。

汽車照明鍍膜設(shè)備有什么特點(diǎn)

設(shè)備的主要功能包括：高壓離子轟擊，在真空室內(nèi)一次完成鍍鋁和加鍍超硬保護(hù)膜（SiO）。超硬保護(hù)膜提高了鋁層的抗氮化能力和保持鋁層長(zhǎng)久的高反射率。至成提供用于汽車燈或室內(nèi)照明行業(yè)的3D零部件的設(shè)備和真空鍍膜工藝。例如汽車頭燈和尾燈、汽車后視鏡、室內(nèi)照明等。反射性鍍膜及疏水性鍍膜（荷花效應(yīng)）工藝典型應(yīng)用于汽車頭燈尾燈和室內(nèi)照明。

應(yīng)用組合包括濺射、和熱蒸發(fā)的反光和裝飾性的金屬層的表面涂層防腐采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)。進(jìn)一步的應(yīng)用是通過反應(yīng)磁控濺射，透明層的表面工程，如擦拭層和易于清潔層（具有蓮花效應(yīng)），層堆棧為汽車后視鏡和銀層堆的反射率。

刀具超硬膜離子鍍膜機(jī)

刀具超硬膜離子鍍膜機(jī)為在工具、刀具上鍍硬質(zhì)或超硬保護(hù)膜而設(shè)計(jì)，采用獨(dú)有的磁場(chǎng)控制技術(shù)使電弧在靶材整個(gè)表面做快速的移動(dòng)，涂層表面光滑致密，靶材表面被均勻刻蝕，優(yōu)化了涂層結(jié)合力。低溫至300℃，也具有出色的涂層附著力，新技術(shù)帶來(lái)了更快的批次周轉(zhuǎn)效率，優(yōu)化了涂層生產(chǎn)效率，高精密度，在有效鍍層范圍內(nèi)涂層厚度均勻。

可鍍制TiN、CrN、AlTiN、AlCrN、TiCN、TiAlCrN、TiAlSiN、DLC、多層超硬膜等，應(yīng)用于精密模具業(yè)（沖壓模具、剪切模具、標(biāo)準(zhǔn)件模具、成型模具等）、工具行業(yè)（鉆頭、硬質(zhì)合金、銑刀、拉刀、絲錐和齒輪刀具等），汽車工業(yè)（活塞、活塞環(huán)、零配件等）。

真空鍍膜機(jī)濺射鍍膜與蒸發(fā)鍍膜的區(qū)別：

蒸發(fā)鍍膜是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)）形成薄膜。

蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對(duì)于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

濺射鍍膜可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái)，并且終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，終形成薄膜。真空鍍膜機(jī)設(shè)備

濺射鍍膜又分為很多種，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。

濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對(duì)較差（因?yàn)槭敲}沖濺射），晶向（外沿）生長(zhǎng)的控制也比較一般。