無塵室送風(fēng)量計算主要是指在已知潔凈級別或允許菌濃等條件下計算風(fēng)量，其步驟是：

正壓無塵室送風(fēng)量QⅠ計算：

亂流無塵室送風(fēng)量計算Q1-1亂流無塵室——1000級、10000級、100000級、300000級的無塵室，送風(fēng)量是以換氣次數(shù)為準(zhǔn)來計算的：QⅠ-1=KV式中：K——換氣次數(shù)；V——無塵室凈體積；N——非單向流無塵室穩(wěn)定含塵濃度；G——無塵室內(nèi)單位體積發(fā)塵量；M——室外空氣含塵濃度；S——回風(fēng)量與送風(fēng)量之比；所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。ηH——回風(fēng)通路上過濾器的總效率；ηX——新風(fēng)通路上過濾器的總效率。實際工程計算中換氣次數(shù)K很難用以上公式計算，一般均采用經(jīng)驗換氣次數(shù)。在各國的無塵室標(biāo)準(zhǔn)中，相同級別的非單向流無塵室的經(jīng)驗換氣次數(shù)并不相同。我國《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》

如何使?jié)崈羰腋?jié)能在潔凈室中有許多節(jié)能的地方，如供暖，通風(fēng)和空調(diào)（HVAC），過程冷卻，壓縮空氣和一些其他設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個晶圓制造設(shè)施的一半。大量浪費(fèi)的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設(shè)備的設(shè)計和建造的捷徑，盡可能地壓縮初始投資，而不管后期的運(yùn)營成本。的設(shè)計和的設(shè)備需要大量的前期投資。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。并應(yīng)與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進(jìn)行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

工藝布置應(yīng)符合下列要求：

　　　　一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。

　　　　二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置，靠近潔凈區(qū)人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。

　　　　三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。

　　　　四、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。

　　　　五、應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料人口，物料傳遞路線應(yīng)為短的，物料進(jìn)入潔凈區(qū)之前必須進(jìn)行清潔處理。