質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小。

流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號放大去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門。通過實時的流量檢測閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

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質(zhì)量流量計概述

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主要特點(diǎn)

1. 適用多種介質(zhì)

2. 測量準(zhǔn)確度高

3. 無直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類

質(zhì)量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另質(zhì)量流量計一類為間接式或推導(dǎo)式，如應(yīng)用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進(jìn)行乘法運(yùn)算以得出質(zhì)量流量。