無塵車間設計要點：

　　1、風管設計

　　在無塵車間工程中，凈化空調系統(tǒng)對風管設計的要求是，既有效地送風回風，又要達到合理的經濟效果。前者要求風管阻力小、嚴密性好，不漏氣，不發(fā)塵，不積塵，不污染，可耐火、耐腐蝕、耐潮濕，又同時選擇合適的材料進行風管鋪設，主風管支風管的選材規(guī)格應有所區(qū)別。

　　2、電話和火警設備

　　在潔凈廠房設置的電話采用對講面板設計，既滿足凈化環(huán)境的要求，也可以減少人員在潔凈區(qū)走動，減少發(fā)塵量，也可在萬一發(fā)生火災時及時與外部聯(lián)系，也為正常工作聯(lián)系創(chuàng)造條件。此外，無塵凈化車間還應設置火災報警系統(tǒng)，防止火情不易被外部發(fā)現(xiàn)而造成重大經濟損失。

生產工藝連續(xù)，各室無獨立性

適用于大規(guī)模的生產工藝,潔凈室工程面積大,間數(shù)多,位置較集中,但各室潔凈度不宜相差太大,通過所選送回風口的形式及不同的布置,可實現(xiàn)多種氣流組織方式,統(tǒng)一送、回風,管理集中,系統(tǒng)管理復雜,各潔凈室不可單獨調節(jié),維修量小,此潔凈室工程的造價較低.

生產工藝單一，各室獨立

適用于改造工程,潔凈室工程位置分散,潔凈室工程無塵車間單一,可實現(xiàn)多種氣流組織形式,但噪聲和振動需加以控制,操作簡單,維修量小,調節(jié)管理方便,此潔凈室工程、凈化車間的造價較高.

直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。