1、把整臺泵從基座至檢修場地，拆裝、清洗真空泵應在清潔的室內進行。拆洗時.應注意各部件、零件的原裝配位置、方向及組合松緊，并作好記錄或記號，以免裝錯；拆除靠背輪保護罩，復查泵的中心；

2、在取出旋片和轉子時，注意一定要用手捍緊旋片，因旋片受彈簧力較大，一不小心容易脫手飛出，碰傷旋片棱角及衷面而不能使用，松靠背輪連接螺栓，拆去靠背輪。

3、松泵進、出口管道法蘭螺栓，拆除進、出口管道；拆下的零部件應分開，妥善處理，不可亂放亂堆，否則，容易互相碰傷或丟失，

用橡膠墊圈密封，取下橡膠墊圈，退出定位銷。在在進行真空泵維修時，需要拆下高真空端，取出高轉子和旋轉板。此時，只能通過用手夾住旋轉板和軸來取出轉子。通常，下轉子端設有兩個帶金屬絲的鉤環(huán)，通過用螺桿將鉤環(huán)擰入鉤環(huán)中，可以容易地拉出下轉子。但是，應該注意，拉出轉子時，必須用手緊緊地夾住旋轉板。因為旋轉板受到很大的彈簧力，所以它很容易飛出手，落到地面或遇到堅硬的物體，并損壞旋轉板的邊緣和表面，導致無端報告。

真空泵長期使用后，多少都會出現真空泵漏油現象。如果只是小范圍的滲漏，只要泵油在油視鏡觀察的正常范圍以內，可以暫時不用管，若油位己低于正常范圍了，就需要立即添加泵油才可正常使用，否則可能會使真空泵損壞。注意，油位如果太高也可導致噴油，是加到油視鏡三分之二處。

　　如果真空泵泵油漏的厲害，就需要更換真空泵的油封（往往是幾個密封件），如果自己可以更換，從真空泵的公司買回相應備件，自行更換，如果自己不會更換，就需將泵發(fā)回廠家或找代理商進行維修。