凈化工程技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用趨勢：對于半導(dǎo)體設(shè)備來講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個重要標(biāo)志。隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求，用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術(shù)已開始進(jìn)入千家萬戶，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。

車間凈化工程構(gòu)建選址要求：各項條件需優(yōu)良：凈化工程構(gòu)建挑選所屬地區(qū)，其附近的地理環(huán)境及其衛(wèi)生狀況整體務(wù)必做到優(yōu)良才能夠 ，并zui少要確保沒有與氣體或水質(zhì)相關(guān)的污染物才行。此外，凈化工程還應(yīng)當(dāng)盡可能設(shè)在可以杜絕各種各樣交通干道與貨運(yùn)物流貨運(yùn)站等的地區(qū)?？臻g布局要有效：凈化工程空間布局務(wù)必合乎潔凈生產(chǎn)的各項要求，高潔凈區(qū)、地潔凈區(qū)與污染應(yīng)開展有效的遍布，以較大程度降低針對潔凈地區(qū)生產(chǎn)商品的負(fù)1面影響。

車間凈化工程：亦稱為無塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕 度及壓力等性能之特性。潔凈室之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間 我們稱之為潔凈室。