硅離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應(yīng)氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應(yīng)腔體中

的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團?；钚苑磻?yīng)基團由于擴散或者在電場作用下到達SiO2表面，在那里與被刻蝕材

料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并形成揮發(fā)性的反應(yīng)生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。 

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提升效率進一步降低成本。根據(jù)天合以及華東理工的測試數(shù)據(jù)，使用雙面雙玻組件在不同地面的發(fā)電增效在5-27%左右，其中草地僅增加5%，而地面白漆將增加25%-27%的發(fā)電量。在擴散過程中，POCL3與O2反應(yīng)生成P2O5淀積在硅片表面?？紤]到目前P  型PERC 有量產(chǎn)化數(shù)據(jù)，我們以P 型PERC電池轉(zhuǎn)雙面電池進行計算每1%的發(fā)電效率提升也將帶來5厘的度電成本下降(相比現(xiàn)在下降0.7%)。而如果我們將發(fā)電量轉(zhuǎn)成每個組件的瓦數(shù)提升(也就是320瓦的組件，5%效率帶來16  

瓦的提升，相當(dāng)于上升1.1%轉(zhuǎn)化效率)，則雙玻雙面組件成本將進一步下降4  

分/瓦(5%)。如果不使用鋁框的雙玻雙面組件，即使不考慮瓦數(shù)提升，因為減少了鋁的使用，每瓦成本也將下降11 分/瓦。

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在研制發(fā)光物質(zhì)的過程中，于1993年發(fā)表了世界的藍色LED以來，相繼實現(xiàn)了紫外、黃色的氮化物L(fēng)ED及白色LED的商品化，大幅度擴大了LED的應(yīng)用領(lǐng)

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