凈化工程在設計時，工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術也在發(fā)展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。

排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設計時，要根據(jù)實際情況選擇。壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。凈化工程的步的關鍵是設計，工程設計水平的好與壞將直接關系到整個工程之后的施工，還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經濟性。

排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等，凈化車間設計時，要根據(jù)實際情況選擇。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應選用凈化車間燈具。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情，但今天凈化技術發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著好的方向發(fā)展，對凈化車間的依賴度也越來越高。

濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關標準、規(guī)范進行。