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發(fā)布時間:2020-11-07 07:15  
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凈化工程位置應(yīng)該如何選擇?一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低,自然環(huán)境較好的區(qū)域。二、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時,則應(yīng)位于其頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè),或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、ren流貨流不穿越或少穿越的地段。
凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請求來斷定,在滿意加工技術(shù)的條件下,必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進(jìn)步,技術(shù)對溫濕度的請求也越來越高,有必要到達(dá)必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹,所以有必要有±0.1度的恒溫,一起請求濕度值通常較低,因為人出汗今后,對商品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超越25度。