氦質譜檢漏儀

高速排氣性能：在微漏模式下He的排氣速度達到5L/s ;2  2  采用與本體獨立的平版觸摸式顯示器：搭載無線控制系統(tǒng)；2  可進行直觀操作：的識別性及簡易的測試畫面；2  支持多種真空泵：油回轉泵、渦旋型干泵；2  裝有方便使用及操作簡單的推車，901系列 也提供低底盤型號；

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氦質譜檢漏儀逆擴散原理

對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質譜檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個機械泵和兩個閥門，復雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標準漏孔等組成。次級泵可用擴散系或羅茨泵，前級系氣鎮(zhèn)式機械泵。

氦質譜檢漏儀系統(tǒng)的氦質譜檢漏儀關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。