集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。手消毒完成后，然后通過潔凈走廊進入各自的生產(chǎn)操作區(qū)域（如帶潔凈手套可直接進入）。另外，集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計上就要有所要求。

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凈化車間門檻部位又須根據(jù)運輸與人行等不同要求作特殊構(gòu)造處理。一捏單扇平開凈化車間門的四邊縫隙中倒有三邊需作不同的處理，而且雙扇凈化車間門的中縫也是特殊構(gòu)造。所以在凈化車間門的設(shè)計中對于活動縫隙的密封處理是更為突出的問題。開啟扇與框料相互搭接的槽口尺寸與槽口形式問題，是活動縫隙密封設(shè)計小必須注意的重要問題。外部水管路必須清潔干凈后，方可與本空調(diào)機組的換熱進、出水管路連接，以免將換熱器管路堵死。村局、框、五金、密閉條及其作用方式等四個方面因素要綜合考慮，使它們在構(gòu)造亡和受力狀態(tài)上相互協(xié)調(diào)，達到密封的目的。應(yīng)該特別指出，凈化車間門扇比窗扇大而且重，密封壓緊時施力要大得多，特別平時總在不斷啟閉旋轉(zhuǎn)，故還須從控制凈化車間門扇下垂和保證凈化車間門扇剛度等方面來著重考慮五金選用問題。

頂板

板材采用三明治式結(jié)構(gòu)：兩面為彩鋼板，烤漆，鋼板厚度是0.5毫米；中間為高密度的絕緣的隔熱夾芯，該型號頂板可供選擇的夾芯材料有巖棉,紙蜂窩,鋁蜂窩等材質(zhì),為了增強頂板強度,可在彩鋼板內(nèi)加入石膏或玻鎂板,人員可以在上面行走，進行各種維護工作。承重在100公斤以上?；A(chǔ)表面應(yīng)平整、光潔，其對角線水平誤差以不超過5mm為宜，如基礎(chǔ)不水平，可能會導(dǎo)致冷凝水排放不暢，造成漏水。

板與板之間是內(nèi)置式鋁龍骨或PVC方管連接的，形成一連續(xù)自支承結(jié)構(gòu)的墻。兩塊板之間的接縫處用硅膠密封處理。頂板用M-8螺紋鋼筋和支架固定在建筑頂上。