實(shí)驗(yàn)室凈化車(chē)間對(duì)濕度的控制有哪些要求【山西東勝科星實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司】

濕度控制是凈化車(chē)間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是凈化車(chē)間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體凈化車(chē)間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線(xiàn)處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。