熱處理廠認為由于真空滲碳熱處理零件具有表面質(zhì)量高(不脫碳，不氧化)的特點，因而，對表面層的應(yīng)力狀態(tài)及疲勞強度具有很有利的影響。

對具有盲孔、深孔及窄縫的零件具有較好的滲碳效果。對難于用氣體滲碳熱處理法進行滲碳的不銹鋼、含硅鋼等，用真空滲碳法則可順利地進行滲碳。

可獲得薄的、厚的(可達7mm)以及高碳濃度的滲碳層。使?jié)B碳期與擴散期時間具有不同的配合，即可獲得陡的或平緩的碳濃度梯度。

圓錐齒輪的前期失效形式首要包含齒面剝落和齒根折斷，而導(dǎo)致齒輪出現(xiàn)這兩種失效的首要原因是齒輪滲碳過程中使得齒輪發(fā)生了變形，這不但使得齒輪運動精度與裝配精度下降，并且使得齒輪的全體功能和使用壽命下降，是齒輪前期失效的一個重要原因。

導(dǎo)致齒輪變形的因素較多，其間尤其以熱處理過程中滲碳層剩余奧氏體含量過多，在齒輪后續(xù)加工和使用過程中剩余奧氏體進一步發(fā)生轉(zhuǎn)變成馬氏體而發(fā)生的變形，這是導(dǎo)致圓錐齒輪前期失效問題的根本問題之一。

不氧化、不脫碳、不增碳對工件內(nèi)部和外表有杰出的的保護效果。氧化使金屬外表失去光澤，外表粗糙度增加，精度下降，而且鋼外表氧化皮往往是構(gòu)成淬火軟點和淬火開裂的本源，氧化使鋼件強度下降，其他力學(xué)功能下降。而真空熱處理因為金屬是在必定的真空度下加熱，工件避免了與氧氣觸摸，工件沒有氧化，無脫碳，可以得到亮光的外表及較好的熱處理質(zhì)量，一起在真空狀況下，也不會產(chǎn)生復(fù)原反響，也就不會產(chǎn)生增碳的現(xiàn)象。