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發(fā)布時(shí)間:2021-08-09 15:01  
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廣州潽拓光電科技有限公司是一家專業(yè)做萊寶分子泵維修、德國(guó)萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復(fù)合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對(duì)廣州各地均可收件。
廣州潽拓光電——
為滿足用戶高真空下高抽量的要求,BOC Edward 公司研制出一種全新概念的真空泵——世界首臺(tái)雙模式真空泵。其獨(dú)特的雙模式方式使用戶用一臺(tái)泵既可以實(shí)現(xiàn)大抽量又可以實(shí)現(xiàn)良好真空。PGD400真空計(jì)的清潔?使用稍潤(rùn)濕的棉布清潔?PGD400?的外殼,切勿使用任何腐蝕性或摩擦性清洗劑。在科學(xué)領(lǐng)取,BOC Edward 公司的RV系列真空泵已經(jīng)成為初級(jí)泵的選擇。該泵性能獨(dú)特,極限真空高,抽氣量高低可選,噪音水平低,應(yīng)用范圍廣,使其成為實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。
性能特點(diǎn):
空氣排出徹底,噪音小
穩(wěn)定可靠性強(qiáng)
易于使用和維護(hù)
氣鎮(zhèn)調(diào)節(jié),的水蒸氣處理性能
高真空,高抽量模式切換技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
高真空模式
廣州潽拓光電
BOC STP-iXA3306CV渦輪分子泵維修,愛德華STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)先進(jìn)的性能,可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)(成熟的 STPiXA3305 系列的新技術(shù))。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不帶其電源供給 (iPS-1200))的高度。德國(guó)Pfeiffer真空泵產(chǎn)品特點(diǎn):PFEIFFER總公司位于德國(guó)ASSLAR,作為真空技術(shù)的引*者,普發(fā)真空不斷研發(fā)、生產(chǎn)性能卓越、運(yùn)行可靠的真空產(chǎn)品。 這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小,可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性與優(yōu)勢(shì):
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了 50%
可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
緊湊型設(shè)計(jì),包括完全集成的控制器
性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
濺射
離子注入源,射束線泵送和站
金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物)
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

廣州潽拓光電——真空計(jì) BPG400 and PCG 402 的工作原理
1、真空計(jì) BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空計(jì)2、皮拉尼(Pirani)真空計(jì)原理低溫的氣體分子碰撞高溫固體時(shí),會(huì)從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計(jì)算壓力的真空計(jì)被成為熱傳導(dǎo)真空計(jì)。該泵為無油、無污染型,并且具有非常低的故障率,可以在任何角度工作而不對(duì)材料施加應(yīng)力。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。代表性的熱傳導(dǎo)真空計(jì)包括Pirani真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。 原理
金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極。氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時(shí),Qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為Qg=αΛπda(T-T0)p(2)T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長(zhǎng)度。通過電極給白金細(xì)線提供電流時(shí),白金細(xì)線會(huì)發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會(huì)被奪走。單位時(shí)間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時(shí)以下公式成立
Q = I2R = Qg Qr Qs (1)
Q是單位時(shí)間細(xì)線放出的熱量,R是細(xì)線的電阻,I是細(xì)線的電流。 氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時(shí),Qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為
Qg = αΛπda(T-T0)p (2) T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長(zhǎng)度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下
Qs = Sκ(T-T0)/L (3) Qr = πdaσε(T4-T04) (4) (3)是電極的熱傳導(dǎo),其中S是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電極的長(zhǎng)度。(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。⑵真空泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為
I2R = Ap + I02R (5) A = αΛπda(T-T0) (6) I0是壓力為0的時(shí)候細(xì)線的電流, 是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù) 如果已知細(xì)線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(5)式求得壓力P。
ATHM系列磁懸浮分子泵安裝注意事項(xiàng):
*內(nèi)置加熱帶可以幫助泵運(yùn)行在較高溫度(gao75攝氏度),從而避免沉積物的累積;
*加熱帶由控制器進(jìn)行溫度控制,ATHMT型分子泵已隨泵攜帶冷卻水閥
*分子泵轉(zhuǎn)速的調(diào)節(jié)——待機(jī)轉(zhuǎn)速
—ATHM磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)速可以調(diào)節(jié)運(yùn)行在di待機(jī)轉(zhuǎn)速與額定轉(zhuǎn)速之間,這樣可以根據(jù)客戶的工藝情況(如運(yùn)行在較gao壓力下)使泵運(yùn)行在zui優(yōu)狀態(tài)。
gao轉(zhuǎn)速—34000 rpm(ATH 1300M/MT)
*磁懸浮分子泵的安裝要求
---磁懸浮分子泵運(yùn)行時(shí)所具備的動(dòng)能非常高,泵出現(xiàn)機(jī)械故障或者發(fā)生意外時(shí),沒有正確安裝的泵完全可能由于動(dòng)能傳遞到泵體而使得泵脫離設(shè)備從而造成事故
---當(dāng)泵在運(yùn)行過程中轉(zhuǎn)子突然卡死時(shí),轉(zhuǎn)子的動(dòng)能將被傳遞到泵體和設(shè)備上
---通過模擬分子泵損壞時(shí)的壞狀況(轉(zhuǎn)子在全速時(shí)碎成兩半)