無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無塵車間-潔凈廠房的竣工驗(yàn)收，是在各分部單機(jī)試車，無生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車自檢合格后進(jìn)行?？⒐を?yàn)收的內(nèi)容是對各分部工程的單機(jī)試車和無生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車的核查，潔凈室(區(qū))性能參數(shù)檢測和調(diào)試、各分部觀感質(zhì)量核查，按要求進(jìn)行功能檢測和調(diào)試。

潔凈廠房竣工驗(yàn)收時，應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗(yàn)收的資料，一般包括下列文件及記錄：

1 圖紙會審記錄、設(shè)計(jì)變更通知書和竣工圖;

2 各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進(jìn)場檢驗(yàn)報(bào)告;

3 各分部工程的單機(jī)設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗(yàn)記錄;

4 各分部單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄;

5 各分部工程、系統(tǒng)無負(fù)荷試運(yùn)轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄;

6 各類管線試驗(yàn)、檢查記錄;

7 各分部工程的安全設(shè)施的檢驗(yàn)和調(diào)試記錄;

8 各分部工程的質(zhì)量驗(yàn)收記錄。

　微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計(jì)定型。