電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備介紹哪些性能？

沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司擁有先進(jìn)的技術(shù)，我們都以質(zhì)量為本，信譽(yù)高，我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)電子束產(chǎn)品感興趣，歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線(xiàn)客服，或撥打咨詢(xún)電話(huà)。

真空測(cè)量：采用數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)（兩只電阻規(guī)測(cè)量低真空，一只電離規(guī)測(cè)量高真空）, 測(cè)量范圍為1×105Pa —1×10-5Pa。

斷水報(bào)警、相序檢測(cè)與保護(hù)、溫度檢測(cè)與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù)。

電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)

* 渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開(kāi)關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動(dòng)Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測(cè)，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，提供高均勻性

* 帶觀(guān)察視窗的腔門(mén)，便于放片/取片

* PC全自動(dòng)控制，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制控

* 多級(jí)密碼保護(hù)的授權(quán)訪(fǎng)問(wèn)設(shè)計(jì)

* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖

以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容，希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識(shí)，歡迎撥打圖片上的熱線(xiàn)聯(lián)系我們。