EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時非常安靜，具備先進(jìn)的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。4x10-3Torr進(jìn)氣口連接ISO40出口連接適用于NW25的25mm法蘭出口壓力0。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 愛德華真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回轉(zhuǎn)高真空泵 愛德華 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵

愛德華真空泵維修經(jīng)過長期工作后經(jīng)常會出現(xiàn)的問題就是漏油，關(guān)于這個問題怎么維修呢？我們要先了解出現(xiàn)故障的原因：1.真空系統(tǒng)或進(jìn)氣管路讀書或泄露

2.真空泵油被污染或變質(zhì)

3.排氣過濾器堵塞

4.進(jìn)氣過濾器或進(jìn)氣濾網(wǎng)堵塞

5.吸氣閥被污物卡死

6.進(jìn)氣或排氣管道過長或管徑太小

7.油管泄漏或損壞

8.密封圈或軸封泄漏

9.排氣閥損壞或卡死

10.葉片卡死或損壞

11.轉(zhuǎn)子和泵體的間隙不對

12.真空泵內(nèi)部零件損壞愛德華E2M80真空泵

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。2kW/3hp60Hz3kW/4hp標(biāo)準(zhǔn)油量推薦用油Ultragrade70噪音級別70dB(A)。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運(yùn)行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用過程中，在保用期內(nèi)出現(xiàn)任何質(zhì)量問題我司將對其免費(fèi)更換。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確保可以 將泵溫度設(shè)置為一個較低值以降低腐蝕風(fēng)險。溫馨提示：如果愛德華EH1200羅茨泵漏氣，有點(diǎn)卡死，記得致電專業(yè)的羅茨真空泵維修廠家，不可擅自處理，以免引起其他不良的故障反應(yīng)。我們的泵設(shè)計 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

真空泵是一種較為精密的機(jī)械設(shè)備，用戶在使用過程中，真空泵抽真空難免出現(xiàn)抽氣量不足或者真空度不高的現(xiàn)象，引起這些現(xiàn)象的原因是很多的。

真空泵真空度降低該怎么辦？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不嚴(yán)，有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環(huán)溫度過高(一般不應(yīng)超過40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調(diào)整間隙(一般應(yīng)為0.15～0.2mm);增加水量并降低進(jìn)水溫度。