石墨是我們?cè)谥袑W(xué)的化學(xué)課本當(dāng)中就學(xué)過(guò)的一種碳元素的重要同素異形體。在自然狀態(tài)下是碳元素在高溫的情況下才能夠形成的，在世界的不少地方，比如美國(guó)的紐約我國(guó)的黑龍江等都是盛產(chǎn)石墨的地方。

在行業(yè)內(nèi)稱之為塊狀石墨管的是致密結(jié)晶狀的石墨管。它主要的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)就是比較致密的結(jié)晶體。這種石墨管的穩(wěn)定性好，非常的緊密，比較的堅(jiān)固，品位高但是可塑性和滑膩性并不是很好，這主要也是由于它自身結(jié)構(gòu)比較致密決定的。

新石墨舟飽和狀態(tài)后在沉積時(shí)仍有一部分等離子技術(shù)在石墨舟上面沉積，運(yùn)作頻次低于三十次時(shí)，伴隨著運(yùn)作頻次的提升，石墨舟上面沉積的等離子技術(shù)降低，片間勻稱性越佳。運(yùn)作頻次超過(guò)三十次后，伴隨著應(yīng)用頻次的提升，石墨舟片內(nèi)腔與硅片觸碰邊沿處塑料薄膜增厚，靜電場(chǎng)反倒強(qiáng)大，產(chǎn)生大量的低溫等離子沉積，易出現(xiàn)不一樣水平的邊沿泛白狀況，造成片間勻稱性多次下降。


應(yīng)用后的石墨舟的清洗：石墨舟一般在應(yīng)用100-150次上下必須對(duì)其表層的氨化硅開(kāi)展清洗。提議應(yīng)用濃度值15-25%的氫fu酸水溶液，分三個(gè)輪次來(lái)清洗，每一次4-5鐘頭；并在侵泡清洗全過(guò)程中開(kāi)展規(guī)律性N2鼓包，加三十分鐘上下的清洗；留意：鼓包不建議立即應(yīng)用氣體做為氣動(dòng)閥門(mén)。酸洗鈍化后用純凈水浸洗10鐘頭上下，并確定舟體早已完全清洗整潔。請(qǐng)?jiān)谇逑赐戤吅蟛轵?yàn)舟的表層、石墨守點(diǎn)與舟片相接處、及其別的位置是不是也有氮化硅的殘留。隨后依照規(guī)定開(kāi)展風(fēng)干。