超精密特種加工

要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

從大到天體望遠鏡的透鏡，小到大規(guī)模集成電路線寬μm要求的微細工程和微機械的微納米尺寸零件，不論體積大小，其高尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復(fù)雜化，各種非球面已是當前非常典型的幾何形狀。微機械技術(shù)為超精密制造技術(shù)引來一種嶄新的態(tài)勢?它的微細程度使傳統(tǒng)的制造技術(shù)面臨一種新的挑戰(zhàn)，促進了各種產(chǎn)品技術(shù)性能的提高，發(fā)展過程呈現(xiàn)出螺旋式循環(huán)發(fā)展，直接對科學技術(shù)的進步和人類文明作出貢獻。對產(chǎn)品高質(zhì)量、小型化、高可靠性和的追求，使超精密加工技術(shù)得以迅速發(fā)展，現(xiàn)已成為現(xiàn)代制造工業(yè)的重要組成部分。

介紹下精密機械加工的原則：

純粹的基礎(chǔ)水平考慮的重點是如何減少誤差，提高精度，所以選擇本質(zhì)表面的基本原則是：

一：基準重合原則。應(yīng)選擇盡可能的設(shè)計基準作為定位基準。特別是在后的完成,保證準確性,更應(yīng)注意這一原則。這樣可以避免造成位置誤差基準偏差;

二：基準統(tǒng)一原則。應(yīng)選擇統(tǒng)一的定位基準面的各種表面處理,盡量保證各表面間的位置精度;有時也遵循共同基準的原則,反復(fù)加工;

三：自為基準原則。一些小型機械加工余量和統(tǒng)一的精加工過程,確保加工質(zhì)量和生產(chǎn)率,與精密加工表面本身作為一個基礎(chǔ)水平。