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R1R2R3基團可以是不同的烴基基團，因此可組合成多樣的硅醚。硅醚化合物在保護基化學當中有非常廣泛的應用，常用的硅醚有：三甲基硅基 （TMS），叔丁基二硅基（TBDPS），叔丁基二甲基硅基（TBS/TBDMS）和三硅基（TIPS）。

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山東乾匯億化學有限公司，秉承“服務專業(yè)，客戶至上”的經營宗旨。秉承“服務專業(yè)，客戶至上”的經營宗旨，在有機硅單體及中間體行業(yè)與國內五十余家高新企業(yè)建立誠信穩(wěn)定的合作關系。

熱穩(wěn)定性好，溫和條件下水解又易于制備，故常用于保護羥基、羰基或者作為衍生物講行質譜或氣相色譜分析。硅烯醇醚(silylenol ethers)，在有機合成中有很多用途。

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對反應條件進行了優(yōu)化,在n(六甲基二硅醚):n(氯化鋅)為1:0.06,反應溫度為-2～0℃,反應時間為3h,通氯化氫速度為20mL/min條件下,三甲基氯硅烷收率高達86.8%.

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