滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國產液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高l效率，降低能耗。c.定片式真空泵：在泵殼內裝有一個與泵內表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變容積。d.余擺線式真空泵：在泵腔內偏心裝有一個型線為余擺線的轉子，它沿泵腔內壁轉動并將泵腔分成兩個可變容積。e.多室旋片式真空泵：在一個泵殼內并聯(lián)裝有由同一個電動機驅動的多個獨立工作室的旋片真空泵。

（4） 擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯(lián)組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。（5） 離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

（1）蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。泵的傳動方式真空泵的兩個轉子是通過一對高l精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。（2）濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵

為了避免羅茨泵的誤操作，一般多設有旁路溢流閥。根據對羅茨泵的特殊需要，也有將油的齒輪箱，軸承等部件與泵腔做成分離式結構的。

在羅茨泵的壓縮過程中產生的熱量被傳到轉子和泵體上。轉子很難將熱量傳至泵外，而泵體的熱量很容易被散失到周圍大氣中。因而轉子與泵體之間就出現(xiàn)了溫差。加劇了轉子的熱膨脹。當泵負荷增大時，轉子膨脹會消失間隙，而被卡死。因此出現(xiàn)了氣冷式羅

茨泵，用冷卻的氣體或大氣去直接冷卻熱態(tài)的轉子，從而減少了轉子與泵殼間的溫差，提高了羅茨泵的抗熱能力。