復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車(chē)間：將潔凈車(chē)間等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈車(chē)間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①?gòu)椥詳U(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

凈化車(chē)間內(nèi)的環(huán)氧樹(shù)脂自流平型地流施工工藝

凈化車(chē)間內(nèi)的環(huán)氧樹(shù)脂自流平型地流

施工工藝:

1、打磨地面.清掃、吸塵

2、涂刷封閉底涂

3、刮膩?zhàn)?中涂)

4、打磨、吸塵

5、自流平面

適用場(chǎng)所: 電子廠，電器廠，食品廠，化妝品廠，包裝廠，紡織廠，服裝廠等

環(huán)氧樹(shù)脂防靜電自流平型

施工工藝：

1. 基材處理：打磨并清潔地面，要求基材干燥、無(wú)空鼓；

2.底涂涂裝：導(dǎo)電底涂涂裝；

3. 鋪設(shè)銅箔：橫豎交叉鋪設(shè)；

4、中涂涂裝：根據(jù)所落地面厚度鑷防靜電中涂；

5、面涂涂裝：鑊圖環(huán)氛防靜電自流平面漆。

適用場(chǎng)所: 適用于通訊設(shè)備制造廠、芯片制造廠、S下M車(chē)間、光學(xué)儀器廠、實(shí)驗(yàn)室等有較靜電要求的凈化廠房。

無(wú)塵室有裝臟物柜收納整理

假如無(wú)塵室有裝臟物柜收納整理臟物得話(huà)，那麼還可以在臟物柜里空出相對(duì)的掛勾部位，平常無(wú)需拖把掃帚的情況下，就收納整理進(jìn)來(lái)，看不見(jiàn)他們的室內(nèi)空間，可能更為美觀大方簡(jiǎn)約?？轨o電拖把特性：拖把頭總寬大，運(yùn)用條形化學(xué)纖維磨擦造成靜電感應(yīng)帶起球絮污跡物，吸水力發(fā)電強(qiáng)，濕區(qū)均可應(yīng)用。優(yōu)勢(shì)：一次可拖至的總面積廣，節(jié)省成本；提議一次買(mǎi)二塊各自用以濕區(qū)情況。缺陷：拖把尼龍布料總面積大，清理和晾干都需要花比較多的氣力和時(shí)間?？捎茫汉线m總面積大的木地板、石英磚或大中型的房間內(nèi)足球場(chǎng)。提醒：清理時(shí)把拖把頭夾收起來(lái)就可以更換清理拖把尼龍布料。

潔凈拖把特性：運(yùn)用不織布手工磨擦造成靜電感應(yīng)來(lái)吸咐頭發(fā)，清理時(shí)不容易塵土滿(mǎn)天飛舞，臟了后立即更換新的不織布手工，省去了清理的不便。優(yōu)勢(shì)：干躁路面吸咐塵土效果非常的好，且拖把頭可隨便調(diào)節(jié)視角，清理不留死角。缺陷：沒(méi)法清除非是毛絮的固態(tài)廢棄物，并且應(yīng)用時(shí)必須拆換不織布手工?？捎茫汉线m大規(guī)模的干躁路面、木材木地板、高空墻面的除灰。