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發(fā)布時間:2021-07-06 07:46  
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針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet)內(nèi),再透過管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再進(jìn)程入制機臺的使用點(POU, Point of Use),更多氣體知識請關(guān)注氣體圈子微信:gasgroup于進(jìn)入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯(lián)機,以質(zhì)流控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制,通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計范疇,而是歸屬制程機臺設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP, Valve Manifold Panel)進(jìn)行供應(yīng)。管材的這一特性至關(guān)重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內(nèi)表面有一個極高的光滑度,而且,應(yīng)當(dāng)具有很高的耐磨特性。

什么是標(biāo)準(zhǔn)氣體
標(biāo)準(zhǔn)氣體是引氣體工業(yè)名詞,標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的,良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測定標(biāo)準(zhǔn),它們具有復(fù)現(xiàn),保存和傳遞量值的基本作用,在物理,化學(xué),生物與工程測量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測量儀器和測量過程,評價測量方法的準(zhǔn)確度和檢測實驗室的檢測能力,確定材料或產(chǎn)品的特性量值,進(jìn)行量值仲裁等。從理論上講,標(biāo)準(zhǔn)氣體的定值方法主要有兩種。一是直接測定法.即用定義法進(jìn)行測定。但對裝有氣體的容器進(jìn)行加熱時,其溫度不得超過40℃,一般使用40℃以下的溫水或用溫水浸過的毛巾來加熱。但迄今為止,人們還沒有找到適合于標(biāo)準(zhǔn)氣體定值的定義法,而且不少化學(xué)分析方法在氣體濃度低于lo-4時測量誤差很大,往往不能滿足定徽要求.二是間接測定法,即用質(zhì)量測定性(質(zhì)量比混合法)、壓力測定法(壓力比混合法)、體積測定法(體積比混合法)等物理測量法來確定標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度值。