干泵：國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的很好的工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

萊寶真空泵SOGEVAC系列是單極油封式旋片泵。泵本身帶有防返油閥、氣鎮(zhèn)閥（選配）、出口過濾器、回油線路和和油冷卻回路。泵由直聯(lián)法蘭電機驅(qū)動。安裝在泵體中的偏心轉子）有三塊葉片，它們把泵分成三個隔室，每個隔室的容積隨轉子的旋轉周期性的變化。當轉子旋轉時，抽空腔的進氣部分容積擴大，將氣體從進氣口吸入，氣體經(jīng)過空氣濾芯，打開的防返油閥進入腔泵。當轉子進一步旋轉，葉片從吸入口將泵腔部分分開。這部分泵腔容積減少，氣體被壓縮。氣體在略高于大氣壓時經(jīng)過排氣閥從泵腔排出。