潔凈車間要達(dá)到良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施，而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施：不但要有合理的設(shè)計(jì)，而且還要符合行業(yè)規(guī)范的施工安裝，以及正確的使用潔凈車間和科學(xué)的維護(hù)管理，才能使?jié)崈糗囬g獲得良好的效果。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。本文簡要論述以下幾點(diǎn)：

1、送風(fēng)潔凈度

　　要保證送風(fēng)潔凈度，安裝的氣密性要好，液槽密封必須保證液槽接縫嚴(yán)密和整體框架都處于同一水平面上，負(fù)壓密封就是使過濾器與靜壓箱和框架接縫的外周邊處于負(fù)壓狀態(tài)。