正性光刻膠

正性光刻膠

正性光刻膠也稱(chēng)為正膠。正性光刻膠樹(shù)脂是一種叫做線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂的酚醛甲醛，提供光刻膠的粘附性、化學(xué)抗蝕性，當(dāng)沒(méi)有溶解存在時(shí)，線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂會(huì)溶解在顯影液中，感光劑是光敏化合物，常見(jiàn)的是重氮萘醌（DNQ）。在曝光前，DNQ是一種強(qiáng)烈的溶解，降低樹(shù)脂的溶解速度。在紫外曝光后，DNQ在光刻膠中化學(xué)分解，成為溶解度增強(qiáng)劑，大幅提高顯影液中的溶解度因子至100或者更高。這種曝光反應(yīng)會(huì)在DNQ中產(chǎn)生羧酸，它在顯影液中溶解度很高。四、對(duì)準(zhǔn)（Alignment）光刻對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是曝光前一個(gè)重要步驟作為光刻的三大核心技術(shù)之一，一般要求對(duì)準(zhǔn)精度為最細(xì)線(xiàn)寬尺寸的1/7---1/10。正性光刻膠具有很好的對(duì)比度，所以生成的圖形具有良好的分辨率。

LCD市場(chǎng)助力

全球LCD面板總出貨面積增長(zhǎng)，LCD光刻膠需求增加。據(jù)WitsView數(shù)據(jù)，雖然近三年國(guó)際LCD廠(chǎng)商面板出貨量有所下降，但是由于大屏顯示的市場(chǎng)擴(kuò)增，LCD整體出貨面積變大，2016年出貨總面積達(dá)到1.7億平方米，同比增長(zhǎng)4.6%。隨著LCD出貨面積的持續(xù)增長(zhǎng)，中國(guó)產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)預(yù)測(cè)，未來(lái)幾年全球LCD光刻膠的需求量增長(zhǎng)速度為4%~6%。EUV光刻光路基于反射設(shè)計(jì)，不同于上一代的折射，其所需光刻膠主要以無(wú)機(jī)光刻膠為主，如金屬氧化物光刻膠。隨著國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商占據(jù)LCD市場(chǎng)比重越來(lái)越大，國(guó)內(nèi)LCD光刻膠需求也會(huì)持續(xù)增長(zhǎng)。

NR77-20000PNR29 25000P光刻膠報(bào)價(jià)

6，堅(jiān)膜

堅(jiān)膜也叫后烘，是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象，能使膠膜附著能力增強(qiáng)，康腐蝕能力提高。堅(jiān)膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min,7，顯影檢驗(yàn),光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對(duì)準(zhǔn)不良、光刻膠膜損傷、線(xiàn)條是否齊、陡，針KONG、小島。隨著國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商占據(jù)LCD市場(chǎng)比重越來(lái)越大，國(guó)內(nèi)LCD光刻膠需求也會(huì)持續(xù)增長(zhǎng)。

8刻蝕

就是將涂膠前所墊基的薄膜中沒(méi)有被光刻膠覆蓋和保護(hù)的那部分進(jìn)行腐蝕掉，達(dá)到將光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到下層材料的目的。濕法刻蝕，SIO2,AL, Poly-Si 等薄膜，干法腐蝕。