無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規(guī)定。5m/s之速度，氣流則較均一，（21世紀80、90年代）一般無塵室，其風速均取在0。

    無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室控管項目：

   1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

   ⒉ 能防止微塵粒子之產生。

   ⒊ 溫度和濕度之控制。

   ⒋ 壓力之調節(jié)。

   ⒌ 有害氣體之排除。

   ⒍ 結構物與隔間之氣密性。

   ⒎ 靜電之防制。

   ⒏ 電磁干擾預防。

   ⒐ 安全因素之考慮。

   ⒑ 節(jié)能之考量。

   ⒒照度的的調節(jié)

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當前還是不經濟的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經普遍。

    清潔室內用品除了進出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質，另外經過摩擦不產生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵室內防止微粒子污染的基本原則：不攜入在無塵室內不攜入微粒子的方法有：作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理。