工作完畢，切斷電爐電源，等爐溫降到一定溫度后，關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱電源。在抽預(yù)真空狀態(tài)下，等油增壓泵降油溫，然后關(guān)真空閥，關(guān)機(jī)械真空泵，后關(guān)冷卻水和總電源。工作結(jié)束后，應(yīng)及時(shí)填寫設(shè)備使用記錄及相關(guān)文件，整理及打掃工作現(xiàn)場，消滅事故隱患。

真空設(shè)備操作應(yīng)注意，擴(kuò)散泵加熱時(shí)，主抽泵及前級閥需打開抽真空。主閥必須在前級閥打開后才能打開。主閥未關(guān)上時(shí)，爐體放氣閥不能打開。

真空設(shè)備的改造。為防比大量冷空氣進(jìn)行擴(kuò)散泵和增壓泵，可在抽高真空管道系統(tǒng)加裝一臺維持泵，實(shí)現(xiàn)真空閥與放氣閥之問互鎖，從而確保設(shè)備安全運(yùn)行。由于管路沒有加維持泵，在抽高真空時(shí)，氣動擋板閥由于損壞或誤操作而漏氣，使冷空氣進(jìn)入，冷空氣遇高溫油蒸氣，使氣體迅速膨脹發(fā)生。

電機(jī)與真空泵體之間用聯(lián)軸器連接，如不處同一直線上，就稱為軸系不對中。通常所講的不對中多指真空泵軸系不對中。造成軸系不對中的原因有安裝誤差、溫度變化熱變形、基礎(chǔ)沉降不均以及緩沖墊失效等。對于不對中，將導(dǎo)致真空泵軸向、徑向交變力，引起真空泵軸向振動和徑向振動。由于不對中引起的振動會隨不對中嚴(yán)重程度的增加而增加，從而產(chǎn)生噪音。


這種超過臨界壓縮比時(shí)所形成的水環(huán)渦流，使泵內(nèi)氣體的壓力和氣量產(chǎn)生一定周期的脈動，造成泵的聲響。這個(gè)聲響隨著壓縮比的增加而加劇(但軸功率上升并不多)。當(dāng)達(dá)到壓縮比時(shí)，氣量為零，吸氣孔到排氣孔的整個(gè)水環(huán)全部形成渦流，使氣量脈動和噪音程度達(dá)到了值。這個(gè)噪音與泵的圓周速度、吸入壓力、泵體壁厚、氣水分離器結(jié)構(gòu)以及供水盆有關(guān)。對于運(yùn)行的泵，如果把供水量調(diào)節(jié)適當(dāng)，或者在進(jìn)氣管路上裝一個(gè)小閥門把大氣放部分到泵體里面來這種聲響有可能降低。