電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高，細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元，同比增長(zhǎng) 5.7%；國(guó)內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元，預(yù)計(jì)到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無(wú)法去除，本公司經(jīng)過(guò)多年潛心研究和多項(xiàng)實(shí)驗(yàn)，研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無(wú)法除去的技術(shù)難題，使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段，較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。

 特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。

 特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過(guò)流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。目前，國(guó)內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕?guó)企業(yè)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國(guó)內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。