凈化工程中空氣凈化處理方案

     凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高1效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高1效空氣過濾器代高1效空氣過濾器。

　　空氣過濾器的選用布1高1效空氣過濾器或亞高1效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端，高1效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞高1效、高1效空氣過濾器宜按額定風量選用；⑵臭氧殺菌凈化臭氧的應用在近幾年來越來越廣泛，因為臭氧本身的氧化性強，可以在短時間內(nèi)破壞細1菌、病毒和其他微生物的生物結構，達到殺菌祛味的作用。阻力、效率相近的高1效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內(nèi)。

　　確定集中或分散式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。

　　凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高1效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。

　　送風機可按凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高1效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

　　凈化工程中凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。

　　凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風，凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或對其他工序有危害時，則不應用回風。

凈化工程冷卻塔的運轉和維護

一、 馬達的運轉及維護

1.  馬達應該在啟動后15秒鐘之內(nèi)將風車帶動到正常的運轉速度，如果不是如此，檢查接線，保險絲是否超載以及啟動時馬達端線的電壓。利用馬達的轉動檢查接線以及旋轉的方向，如旋轉的方向不對，將三條線中的任意兩條線對換，且應定期查看并記錄電機的運行電流。(4)差壓變送器控制，通過差壓變送器檢測室內(nèi)的壓力，然后調整新風量，新風（OA)管路上的電動閥（MD)閥門開大（變?。?。

2. 馬達啟動與停止不宜頻繁（參考操作說明）

3.  馬達在常溫情況下使用，hao每年都要請合格的電氣技師來檢查絕緣電阻一次，檢查結果的數(shù)據(jù)與以前所獲得數(shù)據(jù)相互比較。

二、減速機的使用及維護

1. 減速機運行數(shù)小時后，減速機內(nèi)油溫平衡時，觀察油位的高度，不足則補足油位至油視鏡的中上部。

2.  由于減速機處于滿負荷下啟動，啟動時沖擊力很大，容易損壞齒輪，且啟動時間長，對電機很不利，因此凡11KW以上減速機要求降1壓起動，以保護減速機和電機不受損壞。

3.  減速機運行應有專人維護，新安裝的減速機一個月內(nèi)應一周進行停機檢查油位，并測量負荷是否過載，作好運行記錄，在此期間，如油位微量下降，則屬于正常現(xiàn)象，應及時補充所蒸發(fā)的潤滑油：如發(fā)現(xiàn)減速機主軸處嚴重漏油，則應停機維修。

4. 減速機連續(xù)運轉半年，則應更換一次潤滑油，以免因潤滑油氧化后降低潤華效果。

5. 減速機上密封圈屬于易損件，每隔12個月應更換一次，以保證密封的可靠性。

三、 風車的維護

1. 必須定期檢查風車角度及風車跟本體間隙以確保持續(xù)且無問題運轉，如果風車上有污物或者水垢的積聚，應小心去除。

2.  風車在出場前都做過平衡校正，切不可更換任何葉片，必須更換整組由工廠做過平衡校正的整套風機，否則會導致嚴重不平衡。

警告：做任何的風車維護工作，一定要確定現(xiàn)在電源切斷。確定馬達不會啟動。

四、水流量的控制與維護

1. 水流量的大小會影響冷卻水塔的效能，所以在冷卻水塔運轉時要注意維持適當?shù)乃髁俊?

2.  冷卻水塔的內(nèi)部必須要維持干凈，以減少運轉時的問題，在水質不良地區(qū)建議hao使用水處理系統(tǒng)。

?潔凈室中的溫濕度控制

   濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。后者是指嚴密性好，不漏氣，不發(fā)塵，不積塵，不污染，可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。對于硅片生產(chǎn)jia溫度范圍為35—45%。