進口愛德華真空泵油過濾器A22304032

原裝進口愛德華真空泵配件，Edward真空泵過濾器， Edward愛德華真空泵旋片，進口愛德華真空

泵油，愛德華真空泵密封件/維修包等……，型號齊全，價格實惠。

愛德華過濾器主要作用：真空泵油過濾器是很多進口真空泵品牌配置的一種油過濾裝置，主要過濾顆

粒雜質(zhì)粉塵，保持真空泵油質(zhì)量，提高真空泵使用壽命。

Edward愛德華半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池制造集成解決方案提供商，是工業(yè)、制

藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應用的真空技術。 這些泵結

構緊湊，使用時非常安靜，具備先進的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需

求。

主要從事真空行業(yè)，銷售真空泵過濾器，真空泵葉片/滑片/石墨碳片，維修包/密封套

件，真空泵維修耗材。選擇比其爾的優(yōu)勢；擁有10年以上各類進口真空泵技術專業(yè)，真空泵系統(tǒng)訂

制，真空泵維修/保養(yǎng)；如德國BUSCH普旭、德國Becker貝克、德國Rietschle偉力/里其樂、德國天

津Leybold萊寶、法國ALCATEL阿爾卡特、英國Edward愛德華、日本ULVAC愛發(fā)科，日本Orion好

利旺等品牌；

化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。我們的產(chǎn)品解決方案您可能需要使用渦輪分子泵(TMP)以便在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機構。Edward愛德華EH1200羅茨泵維修保養(yǎng)漏氣，有點卡死EH1200是德國Edward愛德華EH系列羅茨泵，這款泵是比較大的，羅茨泵不能單獨使用，一般是可以搭配螺桿泵或者旋片泵使用。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。定期檢查電動機電流值，不得超過電動機額定電流泵長期運行后，由于機械磨損，使機組噪聲級振動增大時，應停機檢查，必要時可更換易損零件及軸承，機組大修期一般為一年。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

設備的參數(shù)相同，但是真空泵內(nèi)在的技術不一樣，所以可靠性還有噪音震動，這些方面的數(shù)據(jù)也都會存在差異，我們作出選擇的過程中，盡量的去選擇那些可靠性更高，噪聲更低，震動更小的設備應用的過程中，才能夠給我們帶來了更多的保障，如果設備內(nèi)在的技術不成熟，使用的過程中存在著各種問題，那么不僅會對周圍的環(huán)境帶來影響，也會給我們造成不利的問題發(fā)生，因此大家應該正確的去認識。應用真空冶金加工薄膜覆層技術制藥冷凍干燥冷凍和空調(diào)系統(tǒng)抽空、干燥和回填變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠燈具制造低溫容器抽空化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾半導體設備制造用于高真空應用的前級泵技術數(shù)據(jù)排量50Hz80m3h-1/47。

認為真空泵機組內(nèi)密封水量不足，造成真空泵機組底部水量未充滿，氣水分離器內(nèi)的空氣漏入真空泵內(nèi)，使得真空泵內(nèi)的負壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。氣鎮(zhèn)雙位氣鎮(zhèn)可處理60g/hr水蒸汽，或高于同類產(chǎn)品的220g/hr（在RV12上為290g/hr）水蒸汽。據(jù)此臨時采用手動啟動方式，先啟動密封水泵運行5min，然后再啟動真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時將冷卻器進行清理(發(fā)現(xiàn)冷卻器內(nèi)較臟)，保證了密封水量充足。采取以上措施后，在倒換真空泵組運行過程中，未再有真空下降的異常發(fā)生。