什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。，我們認(rèn)為如果用戶(hù)要將流量控制在期望的設(shè)定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器

一定要按實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示嗎？

不一定。按實(shí)際實(shí)際使用氣體標(biāo)定顯示，顯示的是實(shí)際氣體的流量, 比較直觀。可以的測(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。但在很多的實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)合，只需要找到一個(gè)合適的流量參數(shù)并保證測(cè)量和控制的重復(fù)性，至于該氣體的實(shí)際質(zhì)量流量是多少，用戶(hù)并不是特別關(guān)心。在這種情況下，您直接使用廠家的標(biāo)準(zhǔn)出廠產(chǎn)品（氮?dú)鈽?biāo)定顯示）也可以。當(dāng)然，如前面所提到的，您在選定流量規(guī)格時(shí)，需要換算一下，以選擇合適的量程。對(duì)于某些用戶(hù)，同一個(gè)產(chǎn)品有時(shí)可能會(huì)通不同的氣體，這種情況下，直接使用氮?dú)鈽?biāo)定出廠的產(chǎn)品更方便。

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器的發(fā)展情況如何? 有些什么特點(diǎn)?

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器起源于上世紀(jì)八十年代末期, 現(xiàn)在在國(guó)外, 有逐步普及的趨勢(shì)。在國(guó)內(nèi), 2004年中法合資的七星弗洛爾公司已有AFC系列數(shù)字化MFC/MFM批量投產(chǎn)。

數(shù)字化質(zhì)量流量控制器有兩種類(lèi)型, 一種是數(shù)字模擬兼容產(chǎn)品, 一種是全數(shù)字化產(chǎn)品。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。數(shù)字模擬兼容類(lèi)產(chǎn)品采用與模擬流量計(jì)一樣的±15V電源, 輸入輸出信號(hào)除了有模擬的 5VDC信號(hào)外, 還具有RS232/RS485串行通訊口。數(shù)字模擬兼容的MFC當(dāng)設(shè)置為模擬式時(shí), 可以直接替換模擬式MFC, 無(wú)需做其它更改。全數(shù)字化類(lèi)型產(chǎn)品通常采用24VDC單電源, 沒(méi)有模擬輸入輸出信號(hào), 只有現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)通訊信號(hào)。