潔凈室(區(qū))內設置真空泵時,應符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分。3．使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)。

潔凈廠房的安全出口設置,應符合下列規(guī)定

潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規(guī)定：1．丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。2．工廠裝修時要給每一生產(chǎn)層、每個防火區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》的有關規(guī)定。3．安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志；安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》的有關規(guī)定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗.

做好凈化車間,搬運是不能小看的

另外就是搬運，任何一項工程中，不可能沒有搬運的過程。做好凈化車間，搬運是不能小看的，搬運主要是分為三個工程，首先是搬運之前的準備，需要把潔凈空調安裝好，確保能夠盡快使用。其次，搬運過程中，一定要防止有相關器材出現(xiàn)污染現(xiàn)象，而且由于搬運肯定會有不同程度的震動，但是仍然需要盡可能減少震動，防止出現(xiàn)設備損壞，還要減少噪音。后是安裝好之后，凈化車間工作人員要統(tǒng)一好服裝、口罩等等，檢查符合了標準，才能夠上崗投入到工作中。

有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法

現(xiàn)今社會，無塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視，無塵凈化車間不僅能對產(chǎn)品的精度、質量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用，同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術。對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理辦法。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉輪后再吸附或焚燒。