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脈沖激光沉積裝置廠家詢問報(bào)價(jià)“本信息長期有效”

發(fā)布時(shí)間:2020-12-09 09:23  

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PLD450型脈沖激光鍍膜介紹

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

主要用途:  

用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。  

系統(tǒng)組成:  

主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成?! ?



脈沖激光沉積原理

以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供,今天我們來分享脈沖激光沉積的相關(guān)內(nèi)容,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。想要更多的了解,歡迎咨詢圖片上的熱線電話或關(guān)注沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司網(wǎng)站!

脈沖激光沉積原理:在真空環(huán)境下利用脈沖激光對靶材表面進(jìn)行轟擊,利用激光產(chǎn)生的局域熱量將靶材物質(zhì)轟擊出來,再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。



脈沖激光沉積介紹

脈沖激光沉積,是一種用途廣泛的薄膜沉積技術(shù)。脈沖激光快速蒸發(fā)靶材,生成與靶材組成相同的薄膜。常見的脈沖激光器:固體激光器中的釔鋁石榴石(YAG)激光器、紅寶石激光器、藍(lán)寶石激光器、釹玻璃激光器等。PLD 的獨(dú)特之處是能量源(脈沖激光)位于真空室的外面。這樣,在材料合成時(shí),工作壓力的動態(tài)范圍很寬,達(dá)到10-10 Torr ~ 100 Torr。通過控制鍍膜壓力和溫度,可以合成一系列具有獨(dú)特功能的納米結(jié)構(gòu)和納米顆粒。

另外,PLD 是一種“數(shù)字”技術(shù),在納米尺度上進(jìn)行工藝控制(A°/pulse)。

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司以誠信為首 ,服務(wù)至上為宗旨。公司生產(chǎn)、銷售脈沖激光沉積,公司擁有強(qiáng)大的銷售團(tuán)隊(duì)和經(jīng)營理念。想要了解更多信息,趕快撥打圖片上的熱線電話!