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發(fā)布時(shí)間:2020-11-11 04:54  
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膜分離技術(shù)是基于薄膜對(duì)氣體組分具有選擇性滲透和擴(kuò)散的特性,以達(dá)到氣體分離和純化的目的。氣體中各種組分透過(guò)膜的速度不同,每種組分透過(guò)膜的速度與該氣體的性質(zhì)、膜的特性和膜兩面的分壓差有關(guān)。透過(guò)膜的氣體組分不可能達(dá)到 100%的純度。
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高純液氮純化方法:
氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒ā⒆儔何椒?、膜分離法等。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻?/span>
高純液氮的用途:
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。
一個(gè)典型的儲(chǔ)存系統(tǒng)由一個(gè)低溫儲(chǔ)存罐,一個(gè)或多個(gè)汽化器,一個(gè)壓力控制系統(tǒng)和所有的用于灌裝、汽化、供給的管道系統(tǒng)組成。低溫罐造得象個(gè)真空瓶。設(shè)計(jì)得使熱量無(wú)法進(jìn)入內(nèi)罐中的液氮。汽化器把液氮轉(zhuǎn)化成氣態(tài)。壓力控制管控制著輸入到過(guò)程的氣體壓力。使用液氮的過(guò)程不要求有汽化器和壓力控制管。
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中作為保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中作為器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)務(wù)必先用高純氮置換,再用高純氦置換。
干冰在融化時(shí)直接變成氣體,融化的過(guò)程中吸收熱量,從而降低了周?chē)臏囟?所以,干冰經(jīng)常被用來(lái)做致冷劑.用飛機(jī)在高空中噴撒干冰,可以使空氣中的水蒸氣凝結(jié),從而形成人工降雨.