半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍包括：裝修方案（圍護(hù)、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動(dòng)力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺(tái)，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

工廠裝修潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室

工廠裝修潔凈室入口宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室?？諝鉂崈舳鹊燃墳?級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室，宜設(shè)氣閘室?？諝獯盗苁业倪M(jìn)、出門不得同時(shí)開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施。單人空氣吹淋室，應(yīng)按班人數(shù)30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室人員超過5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門。不同等級的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa。工廠裝修潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa。

廠房裝修注重消防報(bào)批 廠區(qū)方面的要求首先就是安全，為了安全一定不要忽視消防器材安裝，安裝消防設(shè)施前需要到當(dāng)?shù)氐南谰诌M(jìn)行報(bào)批，工程完工后還需要報(bào)審。一般報(bào)批消防手續(xù)需要10天左右才可以完成，所以在裝修前應(yīng)先找消防公司進(jìn)行此項(xiàng)工程的洽商。在現(xiàn)代的廠房裝修中對消防的要求也有一定的規(guī)范，如果廠房要吊頂，場內(nèi)所有的噴口一定要漏出吊頂一定尺寸，而且要保持水平。