EM 系列泵是結(jié)實耐用的機械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時非常安靜，具備先進(jìn)的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。該礦物油中的預(yù)先處理過的，和它的組合物的方式是將適合的應(yīng)用程序的決定性因素。 Edwards E2M80 油封式旋片真空泵 愛德華真空泵Edwards真空泵 旋片泵 油回轉(zhuǎn)高真空泵 愛德華 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵

適用于研發(fā)實驗室的實驗室真空系統(tǒng)我們提供豐富多樣的真空產(chǎn)品， 以應(yīng)對當(dāng)今研發(fā)實驗室所面臨的種種挑戰(zhàn)。 通過與各主要科學(xué)儀器制造商、大學(xué)院校和主要研究機構(gòu)的 通力合作，我們能夠深入了解研究過程以及真空技術(shù) 所發(fā)揮的作用。我們專注于真空領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)展，并 投資于研發(fā)，因此能夠開發(fā)滿足您的特定應(yīng)用 要求的創(chuàng)新產(chǎn)品。集成式系統(tǒng)和生產(chǎn)層解決方案僅僅有泵和氣體減排設(shè)備，您仍然不能隨時運轉(zhuǎn)您的制程。 單一供應(yīng)商：

廣泛的產(chǎn)品組合齊聚一堂基于技術(shù)的解決方案：

從 UHV（超高真空）到大氣壓安心：

經(jīng)驗豐富，可幫助您選擇解決方案

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來克服四個特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。5、供應(yīng)進(jìn)口真空泵油，進(jìn)口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養(yǎng)，真空系統(tǒng)定做與設(shè)計。需要將真空泵設(shè)計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機構(gòu)。 對于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內(nèi)表面。機械密封維護(hù)機械密封潤滑應(yīng)清潔無固體顆粒嚴(yán)禁機械密封在干磨情況下工作。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個較低值以降低腐蝕風(fēng)險。我們的泵設(shè)計 具有可選的溫度設(shè)定點和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)定點上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。

認(rèn)為真空泵機組內(nèi)密封水量不足，造成真空泵機組底部水量未充滿，氣水分離器內(nèi)的空氣漏入真空泵內(nèi)，使得真空泵內(nèi)的負(fù)壓形成得不夠高，噴射器的工作抽吸力不足。iH干泵系列的峰值抽速從80到1800立方米/小時，其中iH1800干泵是專為高排量應(yīng)用而設(shè)計的。據(jù)此臨時采用手動啟動方式，先啟動密封水泵運行5min，然后再啟動真空泵，這樣有效地控制了真空的降低，同時將冷卻器進(jìn)行清理(發(fā)現(xiàn)冷卻器內(nèi)較臟)，保證了密封水量充足。采取以上措施后，在倒換真空泵組運行過程中，未再有真空下降的異常發(fā)生。