半導(dǎo)體真空腔體的應(yīng)用

中國(guó)半導(dǎo)體真空腔體市場(chǎng)近幾年快速發(fā)展,越來(lái)越多的公司也表達(dá)了進(jìn)入芯片領(lǐng)域的興趣.以存儲(chǔ)芯片為例,以前中國(guó)國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)芯片完全靠進(jìn)口,今年福建晉華集成電路的內(nèi)存生產(chǎn)線有望投產(chǎn),另外長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技公司也在建設(shè)內(nèi)存和閃存芯片生產(chǎn)線.格力、康佳等傳統(tǒng)家電企業(yè)也表示,將進(jìn)入芯片領(lǐng)域.

據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)報(bào)告顯示,中國(guó)目前正在天津、西安、北京、上海等16個(gè)地區(qū)打造25個(gè)FAB建設(shè)項(xiàng)目,福建晉華集成電路、長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技公司等企業(yè)技術(shù)水平雖不及韓國(guó),但均已投入芯片量產(chǎn).報(bào)告預(yù)測(cè),今年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模有望達(dá)118億美元,實(shí)現(xiàn)同比43.9%的增長(zhǎng),并且明年市場(chǎng)規(guī)模有望擴(kuò)大至173億美元,增長(zhǎng)46.6%,成為大市場(chǎng).而同一時(shí)期內(nèi)韓國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模從179.6億美元減少至163億美元,減幅為9.2%.中國(guó)超越韓國(guó)成為全球很大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng).

真空腔體真空概念

真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念,反映的是空無(wú)一物的狀態(tài).在二十世紀(jì)的時(shí)候狄拉克提出了真空的概念,即真空并不是無(wú)物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的,但整體對(duì)外是不顯示物理屬性的宏觀總體.真空就像是一個(gè)能量海,不斷振蕩并且充滿著巨大能量.

真空的屬性確實(shí)是需要用空間來(lái)描述,但只是種數(shù)學(xué)表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說(shuō)真空的性質(zhì)取決于空間.

真空技術(shù)是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗(yàn)和物理測(cè)量等所需要的技術(shù).

用現(xiàn)代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會(huì)有數(shù)百個(gè)分子存在.

氣體稀薄程度是對(duì)真空的一種客觀量度 ,直接的物理量度是單位體積中的氣體分子數(shù).氣體分子密度越小,氣體壓力越低,真空就越高.真空常用帕斯卡或托爾做為壓力的單位.

真空腔體除塵過(guò)濾方式及過(guò)濾裝置大家了解多少呢？

有些真空工藝會(huì)產(chǎn)生大量的塵土，如果塵土隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內(nèi)混在泵油中，會(huì)像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損，對(duì)泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和損壞，堵塞油路或使泵無(wú)法運(yùn)轉(zhuǎn)，如果塵土進(jìn)入真空閥門(mén)則會(huì)使密封失效而泄漏，因此塵土的規(guī)避和過(guò)濾己成為增加真空腔體的使用壽命，增加生產(chǎn)率的關(guān)鍵問(wèn)題，在有塵土的真空系統(tǒng)中，要采用塵土過(guò)濾器。這些產(chǎn)品在使用期間始終保持真空,而另一些則只是把真空當(dāng)作生產(chǎn)中的一個(gè)步驟,產(chǎn)品在大氣環(huán)境下使用,如真空鍍膜、真空干燥和真空浸漬等。

在塵土量較少時(shí)，可以由泵油過(guò)濾系統(tǒng)濾除，但塵土量較大時(shí)，為不讓真空泵損壞，讓真空泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)要使用除塵器。真空腔體加工廠家解釋說(shuō)常用塵土過(guò)濾方法有以下幾種：

（1）旋風(fēng)離心式。進(jìn)氣口與筒體成偏疼放置，塵土隨氣流旋轉(zhuǎn)，因離心力效果而沉降在過(guò)濾器的底部。

（2）油淋式。在油泵的效果下，使真空泵油從除塵器的頂部高速?lài)娤?，油霧與上升的氣流相互效果吸附，混在氣流中的塵土與油一同沉降至油池。

（3）油濕介質(zhì)粘附式。塵土在氣流效果下磕碰用真空泵油浸濕的介質(zhì)外表而被粘附，常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。

（4）介質(zhì)阻撓式。使用介質(zhì)的機(jī)械阻撓效果過(guò)濾塵土，常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。

（5）靜電吸附式。使用真空中氣輝光放電構(gòu)成等離子體，塵土在等離子體中附著電荷，在電場(chǎng)力效果下被驅(qū)向電極外表而集。

（6）混合式。將以上幾種過(guò)濾形式進(jìn)行組合構(gòu)成混合的過(guò)濾形式。

影響真空絕緣水平的主要因素

空隙間隔

真空的擊穿電壓與空隙間隔有著比較清晰的關(guān)系。試驗(yàn)標(biāo)明，當(dāng)空隙間隔較小時(shí)，擊穿電壓跟著空隙間隔的添加而線性添加，但跟著空隙間隔的進(jìn)一步添加，擊穿電壓的添加減緩，即真空空隙發(fā)作擊穿的電場(chǎng)強(qiáng)度跟著空隙間隔的添加而減小。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動(dòng)軸以及輔助井——這些構(gòu)成一個(gè)完整的真空腔體。當(dāng)空隙到達(dá)一定的長(zhǎng)度后，單靠添加空隙間隔進(jìn)步耐壓水平已經(jīng)好不容易，這時(shí)選用多斷口反而比單斷口有利。

一般以為短空隙下的穿主要是場(chǎng)致發(fā)射引起的，而長(zhǎng)空隙下的的穿則主要是微粒效應(yīng)所致。