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發(fā)布時(shí)間:2021-07-15 07:22  
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凈化車間為什么要控制溫濕度?主要作用是什么,具體有什么措施?
凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿足加工工藝的條件下,shou選應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。(4)、汽車吊按有關(guān)部門(mén)的規(guī)定期限和指1定檢修廠家進(jìn)行按期效驗(yàn)、維修?!穸冗^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

凈化工程不同等級(jí)設(shè)計(jì)參數(shù)?
凈化工程原理
1氣流—初效空氣處理—空調(diào)—中效空氣處理—風(fēng)機(jī)送風(fēng)—凈化管道—高1效送風(fēng)口—潔凈室—帶走塵?!仫L(fēng)夾道—新風(fēng)。
不同等級(jí)設(shè)計(jì)參數(shù):
換氣次數(shù):十萬(wàn)級(jí)10-15次/小時(shí);萬(wàn)級(jí)15-25次/小時(shí);千級(jí)50-52次/小時(shí);百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s
壓差:主凈化車間對(duì)相鄰車間≥ 5Pa
溫度:冬季> 16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相對(duì)濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;
照度:≥300Lux。
?潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖,工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對(duì)各潔凈室的潔凈度,溫、濕度等環(huán)境的要求,即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。
(一)凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1、潔凈度,溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng),可減少系統(tǒng)管道的長(zhǎng)度和管道交叉。
3、有條件時(shí)可將 4 級(jí)、5 級(jí)單向流和 6 級(jí)、7 級(jí)、8 級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng)。 7、混合后會(huì)產(chǎn)生劇1毒、引起火災(zāi)和爆1炸的房間不應(yīng)合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。 8、有1劇1毒和的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng),而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。
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