復合式ULSI制程大都采用此種型式

復合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車間：將潔凈車間等級10,000~100,000之亂流潔凈車間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：①彈性擴充容易;②維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

夏天凈化車間環(huán)境濕度操縱在50——70%

凈化車間的品質在必要性層面，設計方案、工程施工和運作管理方法各占1/3，凈化車間自身也是根據(jù)從設計方案到管理方法的整個過程來反映其品質的，這也是GMP的操縱整個過程的精神實質。十萬級凈化車間對溫度、環(huán)境濕度沒有特別要求時，溫度一般操縱在冬天20——22℃；夏天24——26℃；起伏±2℃。冬天凈化室環(huán)境濕度操縱在30——50％，夏天凈化車間環(huán)境濕度操縱在50——70％。

什么叫十萬級凈化車間呢？簡易而言，便是生產(chǎn)車間每立方空氣中直徑≥0.5μm顆粒數(shù)不超352萬只，空氣中顆粒數(shù)越低，就代表著塵土和微生物總數(shù)越少，氣體越清潔。十萬級凈化車間還規(guī)定生產(chǎn)車間每鐘頭通氣需做到15-19次，通氣后空氣過濾時間不超過40分鐘。有無菌檢測規(guī)定但不能夠推行后殺菌的加工工藝和雖能完成后殺菌，但殺菌后無菌操作原則的加工工藝，應在清潔生產(chǎn)制造區(qū)域內(nèi)開展。

凈化車間兩層玻璃窗的特性

凈化車間兩層玻璃窗便是在兩層玻璃正中間縫有干躁空氣，隨后密封性，具備隔熱保溫隔音降噪的功效，它具備下列特性：1、環(huán)保節(jié)能：它是兩層玻璃窗被客戶挑選的較大 原因，因為它的結構決策了它的導熱系數(shù)僅有單面窗的四分之一到一半，能夠降低近七成的熱損害，因而能夠不錯的調(diào)整房間內(nèi)的溫度，另外能夠做到多天暖和夏季涼爽的實際效果。2、隔音降噪降躁：有的生產(chǎn)車間噪聲較為大，尤其是設備噪聲，而兩層窗子能夠比單面窗子降低許多的噪聲，給其他生產(chǎn)車間的職工一個清靜的工作環(huán)境。3、美觀大方：兩層玻璃窗能合理的解決了一般窗凸凹不平的情況，極大地提升墻面的性和美觀大方性。

食品凈化室關鍵用以殺菌后的制冷、斷開(片)、包裝等工藝流程

為更強的操縱食品健康安全難題，我國也相對的頒布了相關法律法規(guī)，來監(jiān)管、管束、避免、懲治食品安全性衛(wèi)生法的行為，并對有關食品生產(chǎn)運營公司明確提出合乎優(yōu)良生產(chǎn)制造標準規(guī)定。為了更好地使食品生產(chǎn)制造整個過程不會受到微生物環(huán)境污染針對易霉變的傷害，要對原材料、水、機器設備等開展解決，生產(chǎn)制造車間的自然環(huán)境是不是清潔也是關鍵的一個標準，除此之外一部分食品規(guī)定清潔無菌檢測的工作環(huán)境。

一般來說，像食品生產(chǎn)加工領域這種對衛(wèi)生要求較為嚴苛的領域，都是會采用車間凈化對策。車間凈化但是包含了一整間的管理方法對策，從車間工程施工選料到凈化機器設備的挑選，都必須依據(jù)具體情況來挑選合適的原材料和機器設備。

1、罐裝（酒水、飲品等）

葡萄酒、水果汁和碳酸飲料無菌檢測裝填加工工藝提升了ISO5級（100級）和ISO6級（1,000級）凈化室。

2、乳制品

酸奶、無菌檢測牛乳或乳酪的生產(chǎn)加工，及其德國的香腸包裝中常常采用無菌檢測解決。一些大中型設備規(guī)定100,000級（ISO8級和9級）之上。

傳統(tǒng)式系統(tǒng)軟件中隧道施工式巴氏消毒法對商品開展各種各樣高溫解決，獲得的商品在物理學特點上產(chǎn)生變化。比較之下，對可控巴氏消毒法的無菌檢測充灌選用較低熱處理工藝，可在幾層面改善商品的品質。在清潔車間內(nèi)生產(chǎn)制造的食品，因為其具備較高的潔凈度等級能夠確保食品不被病菌粘附，但不可以清除食品自身產(chǎn)生的病菌，因而還必須加溫、打藥、直射等方法殺菌。許多食品凈化室關鍵用以殺菌后的制冷、斷開（片）、包裝等工藝流程。