高純氣體  高純氮?dú)?

純度(V/V)：99.999%

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn) ：國(guó)標(biāo)

產(chǎn)品介紹 ：

不燃，無色無味無臭的氣體，液化后呈無色透明。

化肥、氨、硝酸等化合物的制造，隋性保得介質(zhì)，速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑，電子工業(yè)中的處延、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、離子干刻、光刻等，還用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點(diǎn)氣、平衡氣等。

使用要求：

危險(xiǎn)性:空氣中含氮量增加會(huì)造成氧的稀釋,影響人的正常呼吸（在空氣中l(wèi)高容許濃度不應(yīng)超過82%），高濃度的氮?dú)饪梢鹬舷?；液氮接觸皮膚能引起冷燒l傷。

操作場(chǎng)所要求通風(fēng)，操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，建議液氮操作人員穿勞保服裝,佩戴防凍手套，遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝容器損壞 。

檢測(cè)時(shí)樣氣（標(biāo)氣）流路也一樣存在漏氣問題。我們已找到改變分析操作能判斷是否有漏氣方法，并能大致確定漏量大小。在現(xiàn)如今的市場(chǎng)上，高純氦氣的銷售已經(jīng)擁有一定的規(guī)模，對(duì)于高純氦氣的價(jià)格有許多人還并不是非常的了解。還有“在檢測(cè)<20ppbl超低微量氣體成分時(shí)，不能采用紫銅及一般不銹鋼材料”的說法也欠根據(jù)。氦離子化檢測(cè)器和電子捕獲檢測(cè)器都是能直接撿測(cè)ppb級(jí)的檢測(cè)器，在儀器上我們?nèi)杂靡话阕香~與不銹鋼管作連接管與色譜柱，只是要將管內(nèi)清洗和置換干凈就能滿足要求[27]。在校驗(yàn)方法上，有人說“市售瓶裝標(biāo)準(zhǔn)氣含量在1—20ppm內(nèi)，使用這種濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣去校驗(yàn)1—20ppb濃度的含量數(shù)據(jù)，兩種數(shù)據(jù)大小相關(guān)1000倍，這是完全不合理的?！边@是外行批評(píng)內(nèi)行的話！好象批評(píng)者能配出含量為1—20ppb的標(biāo)準(zhǔn)氣？因?yàn)楹苊黠@目前還沒有人能得到純度為9個(gè)“9”的配標(biāo)準(zhǔn)氣的底氣。基于目前只能配制出ppm級(jí)標(biāo)準(zhǔn)氣，第l一底氣純度得到保證；第二個(gè)問題是配氣誤差。只要查一下國(guó)家l質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)的一級(jí)[GBW]和二級(jí)[GBW（E）]氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（共300多種）[11]，就可知道氣瓶標(biāo)氣l小配制濃度只能到1ppm。第三考慮到濃縮法能將ppb變?yōu)閜pm級(jí)和檢測(cè)器可以保證的線性范圍。因而用ppm的標(biāo)準(zhǔn)氣校驗(yàn)ppb級(jí)就不足奇怪。理論與技術(shù)上的研究，在許多內(nèi)容上都是使“不可能”“不合理”的事，讓它在一定條件下成為可能。

  高純氮?dú)庵饕\(yùn)用在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。由于爐腹氣體體積下降，在還原豎井區(qū)域的固體材料的加熱潛力比傳統(tǒng)高爐低，并且需要在軸上面注入預(yù)熱氣體去補(bǔ)償還原豎井區(qū)域的熱供應(yīng)不足。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

3.出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳?xì)浠衔锏龋诟呒儦怏w輸送過程中，這些雜質(zhì)會(huì)緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級(jí)的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

4.吸附性

由于水分等雜質(zhì)是極性分子，吸附性很強(qiáng)。4、氫氣使用區(qū)域應(yīng)通風(fēng)良好，保證空氣中氫氣最l高含量不超過1%（體積）。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質(zhì)，銅材對(duì)水吸附性極強(qiáng)，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級(jí)以下的氧氣會(huì)使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會(huì)接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。