PVD是物理氣相沉積技術(shù)的簡稱，是指在真空條件下，采用物理的方法將材料（俗稱靶材或膜料）氣化成氣態(tài)分子、原子或離子，并將其沉積在工件形成具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)，常見的PVD沉積技術(shù)有：蒸發(fā)技術(shù)、濺射技術(shù)、電弧技術(shù)。

目前,提高NbFeB永磁材料耐腐蝕性能的方法有添加合金元素和外加防護(hù)性鍍層,但主要以添加防護(hù)性鍍層(金屬鍍層、有機(jī)物鍍層和復(fù)合鍍層)為主。隨著工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，對材料的綜合性能要求也不斷提高，單一材料性能已不能滿足某些特定環(huán)境下工作機(jī)械的性能要求。防護(hù)性鍍層可以阻礙腐蝕相與基體之間的相互接觸從而減緩磁體的腐蝕。添加鍍層的方法有電鍍、化學(xué)鍍、物理氣相沉積等。

真空鍍膜設(shè)備真空熱處理是指金屬制件在真空或先抽真空后通惰性氣體條件下加熱，然后在油或氣體中淬火冷卻的技術(shù)。

真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜。平常我們還應(yīng)當(dāng)注意以下幾點(diǎn)：

1、真空鍍膜設(shè)備使用一段時(shí)間后，必須要對設(shè)備進(jìn)行清潔維護(hù)；

2、保證設(shè)施設(shè)備及操作環(huán)境清潔。如材料、樣品放置地環(huán)境要求，環(huán)境溫度濕度要求等；

3、降低真空鍍膜設(shè)備室內(nèi)空氣流動性低、盡量減小室外灰塵侵入。

真空鍍膜機(jī)的運(yùn)行狀況會直接影響鍍膜成品的質(zhì)量，為了更好的運(yùn)行，要對真空鍍膜機(jī)進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。

設(shè)備的日常維護(hù)保養(yǎng)是在生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)不正常現(xiàn)象，盡快解決。發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵油減少要添加，不要認(rèn)為油要定期才更換，否者到了維護(hù)時(shí)，泵的轉(zhuǎn)子可能會磨損嚴(yán)重。

定期維護(hù)保養(yǎng)，把日常維護(hù)保養(yǎng)和定期維護(hù)保養(yǎng)都做好了，不僅延長了設(shè)備的使用壽命，還減少了運(yùn)行故障，提高生產(chǎn)效率。