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發(fā)布時(shí)間:2020-11-10 15:04  
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氦質(zhì)譜檢漏儀
不僅耗能耗時(shí),還會(huì)直接影響真空工藝條件,造成產(chǎn)品不合格等重大生產(chǎn)質(zhì)量問(wèn)題。究其原因是由于真空系統(tǒng)設(shè)備存在泄漏所致,所以真空系統(tǒng)設(shè)備的真空系統(tǒng)需要進(jìn)行檢漏。對(duì)于由各個(gè)組件組成的真空系統(tǒng),各個(gè)組件本身存在的一些工藝瑕疵都會(huì)直接影響到系統(tǒng)的固有漏率
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氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點(diǎn)
180度非均勻磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì),對(duì)焦準(zhǔn)確,靈敏度高。
檢漏口耐壓高,可檢漏率量程寬,大漏小漏全可檢。
離子源燈絲采用氧化釔銥金燈絲,壽命長(zhǎng)、靈敏度高。
檢漏狀態(tài)下獨(dú)特的三屏切換,信息更豐富,檢漏更方便。
具有快速清氦功能和快速響應(yīng)功能。檢漏狀態(tài)一鍵清零。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的自身要符合相關(guān)的質(zhì)量要求。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能自帶第三方的檢測(cè)證書。例如,美國(guó)國(guó)家計(jì)量院NIST;中國(guó)國(guó)家計(jì)量院,或有資質(zhì)的檢定機(jī)構(gòu);德國(guó)的DKD等。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要通過(guò)有標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定資質(zhì)的第三方,進(jìn)行檢定。以此來(lái)保證標(biāo)準(zhǔn)漏孔本身沒(méi)有問(wèn)題。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要經(jīng)常檢定、校準(zhǔn)。建議每年進(jìn)行一次校準(zhǔn)。
工業(yè)用氦:氦含量≥99%,≤43℃.
純氦分三級(jí):優(yōu)等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
高純氦分為三級(jí):優(yōu)等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用氦,即氦含量≥99%,≤43℃。