真空泵泵體振動大時，與其相連的進排氣管線振動也較大，基礎及底座振動不大，可以排除基礎固定松動等原因，主要原因出于上海真空泵泵體本身。

(1)閥片斷裂：當閥片斷裂時，上海真空泵泵體振動厲害，噪音很大，一般表現(xiàn)為軸向振動較大。

上海真空泵

(2)轉子葉片結垢：葉片結垢后，造成轉子質(zhì)量不平衡，旋轉時產(chǎn)生振動。此種因素一般影響較小。

(3)上海真空泵聯(lián)軸器橡膠墊損壞：橡膠緩沖墊損壞甚至被磨成粉末甩出，造成聯(lián)軸器的兩個對輪副直接碰磨，加劇轉子振動。工作中一定要使用質(zhì)量好的緩沖墊并經(jīng)常檢查。