凈化工程技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用趨勢(shì)：對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來(lái)講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。隨著我國(guó)人民生活水平提高，人們對(duì)生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來(lái)越高要求，用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術(shù)已開始進(jìn)入千家萬(wàn)戶，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。

凈化工程的要求：

房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化和物料凈化的房間和設(shè)施，并根據(jù)需要設(shè)置客廳等房間，并符合下列要求：人員入口處應(yīng)設(shè)置清潔鞋的措施，外衣和清潔工作服應(yīng)分開提供；衣帽收納衣柜應(yīng)根據(jù)每人設(shè)置一個(gè)柜子的數(shù)量設(shè)計(jì)，清潔工作服應(yīng)集中掛入清潔柜內(nèi)吹風(fēng)；洗手間應(yīng)提供洗手和烘干設(shè)施；風(fēng)淋室應(yīng)位于潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)毗鄰清潔工作服更衣室，單人風(fēng)淋室按每30人大班次，清潔區(qū)員工5人以上，風(fēng)淋室側(cè)面應(yīng)配備旁通門；當(dāng)它是5級(jí)以上的垂直單向流動(dòng)潔凈室時(shí)，建議使用氣鎖室。廁所不適合清潔區(qū)域。

車間凈化工程構(gòu)建選址要求：廠區(qū)自然環(huán)境高要求：車間凈化工程構(gòu)建進(jìn)行后的廠區(qū)地面、安全通道等應(yīng)整平不起塵。凈化工程戶外應(yīng)盡可能根據(jù)園林綠化等對(duì)策以較大程度的降低露土總面積及其減少工地?fù)P塵。而沒用的垃圾與閑置物品等更不能室外而放，務(wù)必要有相對(duì)的對(duì)策對(duì)其解決?？偟脕?lái)說(shuō)，不論是房間內(nèi)還是戶外，全部潔凈廠區(qū)都務(wù)必要將自然環(huán)境的潔凈環(huán)境衛(wèi)生要求提高至zui大水平。

空氣中的微生物無(wú)處不在，并常附著在塵埃粒子上，隨著塵埃、霧滴及皮屑、毛發(fā)等傳播?？諝庵械膲m埃粒子越多，細(xì)菌附著在塵埃粒子上的機(jī)會(huì)越大，傳播的機(jī)會(huì)也增加。同樣，病毒也會(huì)附著在塵粒上并進(jìn)行傳播。因此，控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物。各種微生物的大小，大部分微生物在于0.3μm。病毒是的微生物,大約在0.005μm以上，其次是立克次氏體。細(xì)類很多，多數(shù) 在空氣中以群體形式存在。常見的細(xì)菌大小為5.5～6.5μm，真菌為3.1～3.9μm，采用空氣過濾器(0.5μm，過濾效率≥99.9%)基本 上可將它們除去。