江蘇維里機(jī)電科技有限公司辦公室地址位于中國(guó)園林之城，人間天堂蘇州，于2017年05月08日在蘇州市姑蘇區(qū)市場(chǎng)監(jiān)督蘇州國(guó)家歷史文化名城保護(hù)區(qū)市場(chǎng)監(jiān)督注冊(cè)成立.

激光干涉儀的類(lèi)型有哪些？

您知道激光干涉儀的類(lèi)型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周?chē)髿馓幱诜€(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。通過(guò)使用加長(zhǎng)桿，可以選擇測(cè)試半徑，以反映機(jī)器的尺寸和對(duì)特定問(wèn)題的敏感度（例如，大半徑的圓更適合突出顯示機(jī)床幾何誤差，小半徑的圓則對(duì)伺服不匹配或滯后更敏感）。

應(yīng)用球桿儀分析數(shù)控機(jī)床誤差

為進(jìn)行誤差計(jì)算和補(bǔ)償，必須辨識(shí)各個(gè)獨(dú)立的誤差參數(shù)。誤差辨識(shí)可采用單向誤差直接測(cè)量法或綜合誤差測(cè)量參數(shù)辨識(shí)方法。球桿儀就是一種綜合誤差參數(shù)測(cè)量有效的工具。

微位移球桿儀一般是利用線性位移傳感器（LVDT）檢測(cè)位移變化量的，連桿長(zhǎng)度變化范圍比較小，一般應(yīng)用于測(cè)量數(shù)控機(jī)床作圓弧插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)時(shí)的半徑變化量。而伸縮式球桿儀一般采用激光干涉儀來(lái)記錄沿連桿方向的長(zhǎng)度變化，因而其連桿長(zhǎng)度變化范圍要比微位移球桿儀大得多。更換測(cè)針（不同的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量軟件方法不同），因?yàn)闇y(cè)針長(zhǎng)度是測(cè)頭自動(dòng)校驗(yàn)的重要參數(shù)，如果出現(xiàn)錯(cuò)誤，會(huì)造成測(cè)針的非正常碰撞，輕者碰壞測(cè)針，重則造成測(cè)頭（傳感器）損壞。