一般三坐標校準保養(yǎng)過程主要包括以下幾部分：

1、檢查電腦和有關(guān)備份文件

2、清理三坐標導(dǎo)軌

3、檢查外罩

4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管

5、檢查氣體過濾機構(gòu)，并對之進行基本保養(yǎng)和維護

6、檢查z軸安全保護裝置，檢查氣動平衡機構(gòu)

7、檢查和清洗氣浮軸承

8、檢查調(diào)整電氣和機械行程開關(guān)

9、檢查和調(diào)整傳動機構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)

10、檢查和調(diào)整測量機水平

11、檢查和調(diào)整三坐標橫梁與xY工作平面的平行

12、建議用激光干涉儀檢測和補償測量機各軸誤差

三坐標控制系統(tǒng)的參數(shù)調(diào)整

伺服系統(tǒng)的基本要求

2：精度與系統(tǒng)誤差

精度是指輸出量復(fù)現(xiàn)指令信號的準確程度。伺服系統(tǒng)工作過程中通常存在三種誤差：動態(tài)誤差、穩(wěn)態(tài)誤差、靜態(tài)誤差。

a）動態(tài)誤差：穩(wěn)定的伺服系統(tǒng)對變化的輸入信號的動態(tài)響應(yīng)過程是一個振蕩衰減過程，在動態(tài)響應(yīng)過程中輸出量與輸入量之間的偏差為動態(tài)誤差。

b）穩(wěn)態(tài)誤差：動態(tài)響應(yīng)結(jié)束后，即振蕩完全衰減之后，輸出量與輸入量之間的偏差為穩(wěn)態(tài)誤差。

c）靜態(tài)誤差：系統(tǒng)組成元件本身的誤差及干擾信號所引起的系統(tǒng)輸入量之間的偏差。元件本身的誤差與下列因素有關(guān)：傳感器的靈敏度、伺服放大器的零點漂移和死區(qū)誤差、機械裝置中的反向間隙和傳動誤差，各元器件的非線性因素等。

三坐標測量儀的基本原理

通過探測傳感器（探頭）與測量空間軸線運動的配合，對被測幾何元素進行離散的空間點位置的獲取，再通過一定的數(shù)學(xué)計算，完成對所測點（點群）的分析擬合，還原出被測的幾何元素，并在此基礎(chǔ)上計算其與理論值（名義值）之間的偏差，從而完成對被測件的檢驗工作。測量儀還配有溫度傳感器，使控制系統(tǒng)能夠檢測并動態(tài)補償溫度梯度引起的測量系統(tǒng)變形。

三坐標測量儀觸發(fā)使測頭分為機械接觸式測頭與電氣接觸式測頭。

2、電氣接觸式測頭

三次元測量儀電氣接觸式測頭又稱為“軟測頭”，適于動態(tài)測量。這種測頭作為測量傳感器，是與工件接觸的部件，每測量一個點時，測頭傳感部分總有一個“接觸—偏轉(zhuǎn)—發(fā)訊—回復(fù)”的過程，測頭的測端與被測件接觸后可作偏移，傳感器輸出模擬位移量的信號。這種測頭不但可用于瞄準，還可用于測微。因此按其功能，三坐標測量儀電氣接觸式測頭又可分為作瞄準用的開關(guān)測頭和具有測微功能的三向測頭。