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光刻膠 FUTURREX廠家價格合理,賽米萊德

發(fā)布時間:2020-12-29 07:55  

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光刻膠的重要性

在北京化工大學理學院院長聶俊眼里,我國雖然已成為世界半導體生產大國,但面板產業(yè)整體產業(yè)鏈仍較為落后。隨著LCD出貨面積的持續(xù)增長,中國產業(yè)信息網預測,未來幾年全球LCD光刻膠的需求量增長速度為4%~6%。目前,上游電子化學品(LCD用光刻膠)幾乎全部依賴進口,必須加快面板產業(yè)關鍵核心材料基礎研究與產業(yè)化進程,才能支撐我國微電子產業(yè)未來發(fā)展及國際“地位”的確立。

“假如我們把光刻機比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒有高質量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無法做出一道佳肴?!比涨?,江蘇博硯電子科技有限公司技術部章宇軒在接受科技日報記者采訪時說。


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表征光刻膠特性和性能、質量的參數有以下三個:
(1)光學性質。光刻膠的光學性質包括光敏度和折射率。光刻工藝重要性二光刻膠的曝光波長由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13。
(2)力學特性和化學特性。光刻膠的力學特性和化學特性包括膠的固溶度、黏滯度、黏著度、抗蝕(刻蝕、腐蝕)性、熱穩(wěn)定性、流動性和對環(huán)境氣氛(如氧氣)的敏感度。
(3)其他特性。光刻膠的其他特性包括膠的純度、膠內的金屬含量、膠的可應用范圍、膠的儲存有效期和膠的燃點。


光刻膠

光刻膠組分及功能

光引發(fā)劑

光引發(fā)劑吸收光能(輻射能)后經激發(fā)生成活性中間體,并進一步引發(fā)聚合反應或其他化學反應,是光刻膠的關鍵組分,對光刻膠的感光度、分辨率等起決定性作用。

樹脂

光刻膠的基本骨架,是其中占比較大的組分,主要決定曝光后光刻膠的基本性能,包括硬度、柔韌性、附著力、曝光前后對溶劑溶解度的變化程度、光學性能、耐老化性、耐蝕刻性、熱穩(wěn)定性等。

溶劑

溶解各組分,是后續(xù)聚合反應的介質,另外可調節(jié)成膜。

單體

含有可聚合官能團的小分子,也稱之為活性稀釋劑,一般參加光固化反應,可降低光固化體系粘度并調節(jié)光固化材料的各種性能。